下载一种可实时监测压力的WDM光芯片晶圆封装系统的技术资料

文档序号:23910468

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种可实时监测压力的WDM光芯片晶圆封装系统,包括底座、固定设置在底座上方并与底座相平行的横梁,所述底座上设有一凹槽,凹槽内从下向上依次相平行设置有压力传感器、与压力传感器相接触的下压块,压力传感器位于凹槽底面的中心并电性连接...
该专利属于深圳市中兴新地技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市中兴新地技术股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。