专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
ASML荷兰有限公司
>
用于带电粒子浸没以增强电压对比缺陷信号的系统和方法技术方案
>技术资料下载
下载用于带电粒子浸没以增强电压对比缺陷信号的系统和方法的技术资料
文档序号:23903186
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
公开了用于在带电粒子束装置中实施带电粒子浸没的系统和方法。根据特定实施例,带电粒子束系统包括带电粒子源和控制器,控制器控制带电粒子束系统以第一模式和第二模式发射带电粒子束,在第一模式中束被散焦,而在第二模式中束被聚焦在样本的表面上。...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。