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本实用新型公开了一种激光辅助镀金刚石薄膜的工艺装置，其中主要由激光发射器、透镜、石英窗口、工艺气进气管、光束阻挡器、衬底、衬底支架、抽气阀门、外接真空系统、水冷系统和镀膜腔体组成。所述激光发射器位于镀膜腔体正上方，通过透镜和石英窗口将激光光...
该专利属于杭州玄和科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州玄和科技有限公司授权不得商用。

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