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本发明的实施例提供一种对银基板进行热处理的装置及冷却该装置的加热板的方法。作为用于对配置在腔室的处理空间内以对基板进行加热处理的加热板进行冷却的方法，包括：第一冷却步骤，通过向所述加热板提供第一冷却用夹具而将所述加热板冷却至设定温度；和第二...
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