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本发明涉及加热板冷却方法和基板处理装置及方法。本发明的实施例提供一种对基板进行热处理的装置及冷却该装置的加热板的方法。作为用于冷却设置在腔室的处理空间内且对基板进行加热处理的加热板的方法，在从所述处理空间中去除所述基板之后，打开所述处理空间...
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