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本发明公开了一种基于MEMS集成式的气体传感器及其制作方法。该气体传感器包括相对设置的加热单元和气体敏感单元，其中，所述气体敏感单元包括测试电极和气体敏感结构，所述气体敏感结构与所述测试电极电连接；所述加热单元包括与所述测试电极相匹配的加热...
该专利属于安徽芯淮电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽芯淮电子有限公司授权不得商用。

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