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本实用新型公开了半导体设备的器件清洗设备，包括支撑腿，支撑腿顶部固定连接有横梁，支撑腿设置有两个，横梁上固定安装有若干水泵，水泵设置有两个，两个水泵均与喷管之间相互连通，有益效果是：本装置通过设置有底板和若干侧板，可以将器件放置在侧板之间的...
该专利属于无锡迪渊特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡迪渊特科技有限公司授权不得商用。

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