下载一种待激光切割晶圆的筛选系统以及激光切割装置的技术资料

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一种待激光切割晶圆的筛选系统,包括:承载台,用于承载晶圆,所述晶圆一表面侧具有反射层;反射率检测器,包括:第一光源和/或第二光源;检测模块和对比模块,能执行如下步骤:检测晶圆的反射层表面对第一光源的第一反射率T1,然后比对第一反射率T1与一...
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