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本公开提供了一种用于检测激光质量的装置及其方法。该用于检测激光质量的装置包括：分束器，所述分束器接收沿第一方向行进的聚焦激光束，并将所述聚焦激光束分成第一部分激光束和第二部分激光束；以及光束分析仪，所述光束分析仪接收所述第二部分激光束，并对...
该专利属于英特尔产品(成都)有限公司;英特尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过英特尔产品(成都)有限公司;英特尔公司授权不得商用。

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