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一种用于移动基板的方法和系统，所述系统包含：腔室、夹盘、移动系统，所述移动系统设置在所述腔室的外部、控制器、中间元件、至少一个密封元件，所述至少一个密封元件经配置以在所述中间元件与腔室壳体之间形成动态密封。所述移动系统经配置以对于所述基板的...
该专利属于应用材料以色列公司;应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司;应用材料公司授权不得商用。

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