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作为一个实施方式，提供一种半导体层的电性缺陷浓度评价方法，包括以下步骤：对包括作为半导体层的GaN层(12)的半导体元件(1)施加电压并测定电流；以及使用测定出的电流的值来导出GaN层(12)中的电性缺陷浓度。...
该专利属于住友化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友化学株式会社授权不得商用。

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