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声波器件的制作方法及声波器件技术
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文档序号:23859779
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本公开实施例公开了一种声波器件的制作方法及声波器件,所述制作方法包括:形成覆盖第一反射结构的第一电极层;形成覆盖所述第一电极层和第二反射结构的保护层;其中,所述第二反射结构和所述第一反射结构在衬底上并列排布,所述第一反射结构位于所述衬底的第...
该专利属于武汉衍熙微器件有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉衍熙微器件有限公司授权不得商用。
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