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本实用新型提供一种加热装置及光刻系统，该加热装置包括承载板，用于承载待加热的基板并自基板的背面对基板进行加热；位于承载板上方与承载板间隔设置的加热板，加热板自基板的正面对基板加热以进行温度补偿，加热板设置为对基板进行分区域的温度补偿。能够针...
该专利属于芯恩(青岛)集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩(青岛)集成电路有限公司授权不得商用。

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