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一种基于互补型SiC的新型晶体管器件及其制备方法技术
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下载一种基于互补型SiC的新型晶体管器件及其制备方法的技术资料
文档序号:23857436
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本发明涉及一种基于互补型SiC的新型晶体管器件及其制备方法,包括:选取SiC衬底,中部用绝缘阻挡层分开;在所述SiC衬底一侧表面生长N型SiC外延层及电子传输层,在所述SiC衬底另一侧表面生长P型SiC外延层及空穴传输层;在所述两侧传输层表...
该专利属于西北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西北工业大学授权不得商用。
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