下载压力传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:23847098

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本发明涉及一种压力传感器及其制备方法,所述传感器包括介质层和设于所述介质层相对两侧的第一电极层和第二电极层,其中,所述介质层包括基体层和分布于所述基体层中的多个孔道,所述孔道与外界连通以使所述孔道内的空气能够排出和吸入,所述孔道的孔壁还附着...
该专利属于浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学授权不得商用。

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