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一种用于半导体扩片机的夹持装置及半导体扩片机制造方法及图纸
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下载一种用于半导体扩片机的夹持装置及半导体扩片机的技术资料
文档序号:23817312
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本实用新型公开了一种用于半导体扩片机的夹持装置,其包括:上夹板,所述上夹板的中心位置设有第一通孔,所述上夹板底部四周设有凸体;下夹板,所述下夹板与所述上夹板相铰接,所述下夹板的中心位置设有与所述第一通孔相配合的第二通孔,所述下夹板顶部设有与...
该专利属于深圳晟盈微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳晟盈微电子有限公司授权不得商用。
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