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本实用新型提出一种离子刻蚀系统，包括真空刻蚀腔体和真空泵，所述真空刻蚀腔体与真空泵的吸气口通过一连通管道相接；所述连通管道内设置有筒型过滤件和设置在筒型过滤件内的强磁铁吸附件；所述筒型过滤件由侧壁滤网和位于侧壁滤网下端的底部滤网组成；所述侧...
该专利属于江苏鲁汶仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鲁汶仪器有限公司授权不得商用。

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