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本实用新型涉及石墨烯负极材料生产技术领域，且公开了一种石墨烯负极材料生产用气相沉积设备，包括底座，所述底座的顶部左右两侧均固定安装有支撑杆，两个所述支撑杆的顶部均与气相沉积箱固定连接，气相沉积箱的左右两侧底部均固定安装有排气管，底座的顶部固...
该专利属于四川聚能蜀源新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川聚能蜀源新材料有限公司授权不得商用。

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