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多工位双面处理系统技术方案
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文档序号:23804051
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本实用新型揭示了一种多工位双面处理系统,包括移载装置、处理装置,移载装置包括移载工位组及防尘罩,防尘罩环绕移载工位组设置,移载工位组至少包括沿第一方向依次排列的入料工位、第一等待工位、第二等待工位及出料工位,处理装置包括处理工位组,处理工位...
该专利属于苏州微影激光技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州微影激光技术有限公司授权不得商用。
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