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一种LED外延片及其制备方法技术
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下载一种LED外延片及其制备方法的技术资料
文档序号:23788699
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本发明提供了一种LED外延片及其制备方法,包括:提供衬底;对所述衬底进行加热,并采用氮化气体对所述衬底进行氮化处理,以在所述衬底表面形成翘曲控制层,其中所述氮化气体至少包括氨气;在所述翘曲控制层表面依次形成N型半导体层、多量子阱层和P型半导...
该专利属于江西乾照光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西乾照光电有限公司授权不得商用。
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