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本发明公开了一种晶圆干燥设备，其结构包括脚架、机箱、机盖、干燥结构、控制面板，脚架竖直安装于机箱下端四角，机盖水平安装于机箱上端，干燥结构贯穿于机盖，控制面板安装于机箱前端，干燥结构包括机架、上沿、内槽、喷气头、装夹架，上沿水平安装于机架上...
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