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本发明公开了一种标定装置和标定方法。该装置包括:标定板、待标定模块和控制模块;控制模块与标定板连接,用于控制标定板产生参考标定图形和互补参考标定图形,参考标定图形包括第一背景和第一参考图案,互补参考标定图形包括第二背景和第二参考图案,其中,...该专利属于上海御微半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海御微半导体技术有限公司授权不得商用。
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