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一种梯度微孔过滤气体传感器及其制备方法技术
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文档序号:23786209
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本发明属于气体传感器制造领域,并具体公开了一种梯度微孔过滤气体传感器及其制备方法。该传感器包括从上至下依次设置的采样上腔室、传感阵列、电路板和采样下腔室,其中:采样上腔室用于通入测试气体并将其送入传感阵列;传感阵列包括预设数量的传感单元,用...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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