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缺陷检测方法和装置、存储介质制造方法及图纸
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文档序号:23786186
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本发明公开一种缺陷检测方法和装置、存储介质。该方法通过获取待测电子器件在N种光源下的N个灰度图像;获取第i个灰度图像中的缺陷占用的像素信息形成第i个缺陷位置信息;根据第i个灰度图像的各线路的线路位置信息及第i个缺陷位置信息,确定第i个灰度图...
该专利属于合肥维信诺科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥维信诺科技有限公司授权不得商用。
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