缺陷检测方法和装置、存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种缺陷检测方法和装置、存储介质。该方法通过获取待测电子器件在N种光源下的N个灰度图像；获取第i个灰度图像中的缺陷占用的像素信息形成第i个缺陷位置信息；根据第i个灰度图像的各线路的线路位置信息及第i个缺陷位置信息，确定第i个灰度图像中缺陷的缺陷类型；根据第1个灰度图像中缺陷对应的缺陷类型至第N个灰度图像中缺陷对应的缺陷类型，得到待测电子器件的缺陷汇总结果。根据本发明专利技术实施例，能够提高缺陷类型判断的准确性。

Defect detection method, device and storage medium

【技术实现步骤摘要】
缺陷检测方法和装置、存储介质
本专利技术涉及检测
，尤其涉及一种缺陷检测方法和装置、存储介质。
技术介绍
在对阵列基板进行缺陷检测时，需要对检测到的缺陷的缺陷类型进行准确的判断，通常会用到自动光学检测(AutomatedOpticalInspection，AOI)设备。目前，AOI设备利用多种光源进行缺陷检测时，采用的是单一光源下的阵列基板中各线路的位置信息，导致无法对检测到的缺陷进行准确的缺陷类型的判断。因此，如何提高缺陷类型判断的准确性是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
为了解决现有技术中的技术问题，本专利技术实施例提供了一种缺陷检测方法和装置、存储介质，旨在提高缺陷类型判断的准确性。第一方面，本专利技术实施例提供一种缺陷检测方法，该缺陷检测方法包括：获取待测电子器件在N种光源下的N个灰度图像，其中，第i种光源下形成第i个灰度图像，N为大于等于2的整数，i为正整数，i≦N；获取第i个灰度图像中的缺陷占用的像素信息形成第i个缺陷位置信息；根据第i个灰度图像的各线本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种缺陷检测方法，其特征在于，所述方法包括：/n获取待测电子器件在N种光源下的N个灰度图像，其中，第i种光源下形成第i个灰度图像，N为大于等于2的整数，i为正整数，i≦N；/n获取所述第i个灰度图像中的缺陷占用的像素信息形成第i个缺陷位置信息；/n根据所述第i个灰度图像的各线路的线路位置信息及第i个缺陷位置信息，确定所述第i个灰度图像中所述缺陷的缺陷类型；/n根据第1个所述灰度图像中所述缺陷对应的缺陷类型至第N个所述灰度图像中所述缺陷对应的缺陷类型，得到所述待测电子器件的缺陷汇总结果。/n

【技术特征摘要】
1.一种缺陷检测方法，其特征在于，所述方法包括：
获取待测电子器件在N种光源下的N个灰度图像，其中，第i种光源下形成第i个灰度图像，N为大于等于2的整数，i为正整数，i≦N；
获取所述第i个灰度图像中的缺陷占用的像素信息形成第i个缺陷位置信息；
根据所述第i个灰度图像的各线路的线路位置信息及第i个缺陷位置信息，确定所述第i个灰度图像中所述缺陷的缺陷类型；
根据第1个所述灰度图像中所述缺陷对应的缺陷类型至第N个所述灰度图像中所述缺陷对应的缺陷类型，得到所述待测电子器件的缺陷汇总结果。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取所述第i个灰度图像中的缺陷占用的像素信息形成第i个缺陷位置信息，包括：
设置所述第i个灰度图像的灰阶值参考范围，识别所述第i个灰度图像中不在所述灰阶值参考范围内的像素信息；
将不在所述灰阶值参考范围内的像素信息，作为所述缺陷在所述第i个灰度图像中占用的像素信息；
根据所述缺陷在所述第i个灰度图像中占用的像素信息，得到所述缺陷在所述第i个灰度图像中的第i个缺陷位置信息。


3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第i个灰度图像的各线路的线路位置信息及第i个缺陷位置信息，确定所述第i个灰度图像中所述缺陷的缺陷类型，包括：
获取所述第i个灰度图像的各线路的线路位置信息，并获取所述第i个灰度图像中缺陷的灰阶值信息；
根据所述第i个灰度图像的各线路的线路位置信息与所述第i个缺陷位置信息的位置关系及所述缺陷的灰阶值信息，确定所述第i个灰度图像中所述缺陷的缺陷类型。


4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
获取待测电子器件的各线路在所述第i个灰度图像中占用的像素信息；
根据所述各线路在所述第i个灰度图像中占用的像素信息，设置所述各线路在所述第i个灰度图像中的线路位置信息。


5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
预先设置所述位置关系、所述缺陷的灰阶值信息、所述缺陷类型三者之间的对应...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡婷平，
申请(专利权)人：合肥维信诺科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34