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一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置，包括平行光路模块、偏振照明模块、待测样品和相衬成像模块和图像收集模块，所述待测样品设置于偏振照明模块内，所述相衬成像模块包括第一透镜、相位板、第二透镜和聚焦显微物镜，平行光路模块产生的光速通过偏振照明...
该专利属于暨南大学所有，仅供学习研究参考，未经过暨南大学授权不得商用。

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