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一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置及使用方法制造方法及图纸

技术编号:23786116 阅读:35 留言:0更新日期:2020-04-14 23:57
一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置,包括平行光路模块、偏振照明模块、待测样品和相衬成像模块和图像收集模块,所述待测样品设置于偏振照明模块内,所述相衬成像模块包括第一透镜、相位板、第二透镜和聚焦显微物镜,平行光路模块产生的光速通过偏振照明模块,随后依次通过第一透镜、相位板、第二透镜和聚焦显微物镜形成光斑传输至图像收集模块。

A device for detecting tiny particles and impurities on the surface of transparent materials and its application method

【技术实现步骤摘要】
一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置及使用方法
本专利技术涉及光学检测领域,具体涉及一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置及使用方法。
技术介绍
目前,手机屏幕、电视屏幕这类的透明材料,在生活、科研中得到了广泛的应用。随着人们对手机、电视的成像视觉要求越来越高,其表面质量、洁净度需要满足一定的要求。因此,在这种透明材料的生产过程中,实时的颗粒杂质检测是生产的重要环节。但是,目前的生产工艺中还没有自动化的实时检测。线下的质量检测增加了时间成本,而人工检测又增加了人工成本及错误率。为了从源头上改善透明材料的质量问题,急需设计一种新型的实时检测杂质颗粒的装置和方法。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服以上现有技术存在的不足,提供一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置,本专利技术可以将照明光的相位信息转换为振幅信息,无须对透明样品材料进行额外处理,能够与样品制备相结合,实现实时检测。本专利技术还提供了一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置的使用方法。本专利技术的目的可以通过如下技术方案实现:一种检测透本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置,其特征在于,包括平行光路模块、偏振照明模块、待测样品和相衬成像模块和图像收集模块,所述待测样品设置于偏振照明模块内,所述相衬成像模块包括第一透镜、相位板、第二透镜和聚焦显微物镜,平行光路模块产生的光速通过偏振照明模块,随后依次通过第一透镜、相位板、第二透镜和聚焦显微物镜形成光斑传输至图像收集模块。/n

【技术特征摘要】
1.一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置,其特征在于,包括平行光路模块、偏振照明模块、待测样品和相衬成像模块和图像收集模块,所述待测样品设置于偏振照明模块内,所述相衬成像模块包括第一透镜、相位板、第二透镜和聚焦显微物镜,平行光路模块产生的光速通过偏振照明模块,随后依次通过第一透镜、相位板、第二透镜和聚焦显微物镜形成光斑传输至图像收集模块。


2.根据权利要求1所述的一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置,其特征在于,所述相位板为π/2相位板。


3.根据权利要求1所述的一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置,其特征在于,所述相位板位于第一透镜的后焦点处,所述相位板位于第二透镜的前焦点处。


4.根据权利要求1所述的一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置,其特征在于,所述偏振照明模块包括起偏器和检偏器,所述待测样品放置于起偏器和检偏器之间,所述起偏器与检偏器的偏振方向互相垂直。


5.根据权利要求1所述的一种检测透明材料表面微小颗粒杂质的装置,其特征在于,所述平行光路模块包括红光激光器、显微物镜、小孔光阑和准直透镜,所述红光激光器的输出光速方向依次设有显微物镜、小孔光阑和准直透镜。

【专利技术属性】
技术研发人员:王津周常河贾伟叶宗浩李俊杰金戈项长铖
申请(专利权)人:暨南大学
类型:发明
国别省市:广东;44

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