下载用于改进的声波滤波器的取代氮化铝的技术资料

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涉及一种压电材料,包括:AlN,其掺杂有选自下组的一种或多种元素的阳离子:Sb、Ta、Nb或Ge中的一种;Cr与B、Sc、Y、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er,Tm或Yb中的一种或多种的组合;Nb和Ta中的一种与Li、Mg、Ca、N...
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