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本发明公开了一种巨量转移装置及其方法，所述巨量转移装置包括：底板、设置在所述底板上并用于放置微元件的对位槽、设置在所述底板上的纳米结构；所述对位槽和所述纳米结构位于所述底板的同侧。通过在底板上设置纳米结构，降低微元件与底板之间的摩擦力，可利...
该专利属于重庆康佳光电技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆康佳光电技术研究院有限公司授权不得商用。

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