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一种用于体现预倾角而进行倾斜曝光的光取向用曝光装置，其能够使用廉价的散射光源即体积光源，并且以紧凑的方式获得均匀的照度分布。通过对被照射面向一个方向进行扫描曝光来进行光取向处理的光取向用曝光装置(1)，其具备：光源(2)，朝向被照射面(10...
该专利属于株式会社V技术;夏普株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社V技术;夏普株式会社授权不得商用。

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