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本发明涉及一种折射投射镜头(PO)，该折射投射镜头(PO)使用汞蒸气灯(LS)的电磁辐射将布置在投射镜头的物平面(OS)中的图案再现到投射镜头的像平面(IS)中，所述折射投射镜头具有：多个透镜元件，该多个透镜元件沿光轴(AX)安装在物平面(...
该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。

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