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下载铜蚀刻液的技术资料

文档序号:23774080

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本发明提供一种能够切实地抑制电化学腐蚀、浴管理容易且蚀刻速度优异的铜蚀刻液。本发明的铜蚀刻液是由碱性的水溶液构成的铜蚀刻液,其特征在于,含有1~70g/L的铜、换算成25%氨水时为10~500g/L的氨水及5~500g/L的铵盐,所述铵盐为...
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