下载涂布机构和涂布装置的技术资料

文档序号:23773256

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的一个实施例的涂布机构用作使用涂布针(63)将涂布材料涂布到基板(SUB)上的涂布机构(10)。根据本发明一个实施例的涂布机构包括:保持件基部(61);滑动机构(64),滑动机构(64)附连到保持件基部的内部;涂布针固定构件(62),...
该专利属于NTN株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过NTN株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。