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涂布机构和涂布装置制造方法及图纸
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文档序号:23773256
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本发明的一个实施例的涂布机构用作使用涂布针(63)将涂布材料涂布到基板(SUB)上的涂布机构(10)。根据本发明一个实施例的涂布机构包括:保持件基部(61);滑动机构(64),滑动机构(64)附连到保持件基部的内部;涂布针固定构件(62),...
该专利属于NTN株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过NTN株式会社授权不得商用。
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