涂布机构和涂布装置制造方法及图纸

本发明专利技术的一个实施例的涂布机构用作使用涂布针(63)将涂布材料涂布到基板(SUB)上的涂布机构(10)。根据本发明专利技术一个实施例的涂布机构包括：保持件基部(61)；滑动机构(64)，滑动机构(64)附连到保持件基部的内部；涂布针固定构件(62)，涂布针固定构件(62)附连有涂布针，涂布针固定构件(62)通过滑动机构支承为能够沿涂布针的延伸方向滑动；以及位置保持机构(65)，位置保持机构(65)保持涂布针固定构件相对于滑动机构的相对位置。直到涂布针的尖端即将与基板接触之前，位置保持机构保持涂布针固定构件相对于滑动机构的相对位置。从涂布针的尖端即将与基板接触之前直到涂布针的尖端与基板分离之前，位置保持机构允许涂布针固定构件相对于滑动机构的相对位置改变。

Coating mechanism and coating device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】涂布机构和涂布装置
本专利技术涉及一种涂布机构和涂布装置。更具体地，本专利技术涉及一种各自用于将涂布材料涂布到基板上的涂布机构和涂布装置。
技术介绍
作为使用涂布针将涂布材料涂布到基板上的涂布机构，传统上已知在日本专利公开第2007-268353号(专利文献1)、日本专利公开第2013-109315号(专利文献2)和日本专利公开第2015-112577号(专利文献3)中公开的涂布机构。专利文献1中公开的涂布机构包括涂布针、涂布针固定板、臂、线性引导构件、支承台、缸体和销。涂布针附连到涂布针固定板。涂布针固定板附连到臂。线性引导构件附连到支承台，并且对臂进行支承以使其能够在上下方向上移动。该缸体附连到支承台并且具有驱动板。销水平地延伸以支承臂，并且附连到驱动板。缸体使驱动板向下移动，从而使销不支承臂。其结果是，臂由于其自重向下移动，使得涂布针与基板接触。因此，根据专利文献1中公开的涂布机构，该涂布材料被涂布。专利文献2中公开的涂布机构包括涂布针、涂布针保持件、臂、滑动机构、支承销、缸体、支承构件和接触压力减小机构。涂布针附本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涂布机构，所述涂布机构使用涂布针将涂布材料涂布到基板上，所述涂布机构包括：/n保持件基部；/n滑动机构，所述滑动机构附连到所述保持件基部的内部；/n涂布针固定构件，所述涂布针固定构件附连有所述涂布针，所述涂布针固定构件通过所述滑动机构支承为能够沿所述涂布针的延伸方向滑动；以及/n位置保持机构，所述位置保持机构保持所述涂布针固定构件相对于所述滑动机构的相对位置，其中，/n直到所述涂布针的尖端即将与所述基板接触之前，所述位置保持机构保持所述涂布针固定构件相对于所述滑动机构的所述相对位置，并且/n从所述涂布针的所述尖端即将与所述基板接触之前直到所述涂布针的所述尖端与所述基板分离之前，所述位置...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170802 JP 2017-1498841.一种涂布机构，所述涂布机构使用涂布针将涂布材料涂布到基板上，所述涂布机构包括：
保持件基部；
滑动机构，所述滑动机构附连到所述保持件基部的内部；
涂布针固定构件，所述涂布针固定构件附连有所述涂布针，所述涂布针固定构件通过所述滑动机构支承为能够沿所述涂布针的延伸方向滑动；以及
位置保持机构，所述位置保持机构保持所述涂布针固定构件相对于所述滑动机构的相对位置，其中，
直到所述涂布针的尖端即将与所述基板接触之前，所述位置保持机构保持所述涂布针固定构件相对于所述滑动机构的所述相对位置，并且
从所述涂布针的所述尖端即...

【专利技术属性】
技术研发人员：山中昭浩，艾东克隆，中村阳香，
申请(专利权)人：NTN株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP