下载一种具有电流放大作用的硅光电探测器的技术资料

文档序号:23769807

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本发明提供了一种具有电流放大作用的硅光电探测器,包括:硅光波导区;第一N型重掺杂硅区和第二N型重掺杂硅区;其中,所述第一N型重掺杂硅区和第二N型重掺杂硅区分别位于所述硅光波导区两侧;P型重掺杂硅区及第三N型重掺杂硅区;其中,所述P型重掺杂硅...
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