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本发明提供一种显示面板制备装置及方法，该显示面板制备装置通过增加辅助腔和循环泵，在使用第一刻蚀液对栅极层进行湿刻后，通过向第一刻蚀液内添加辅助添加剂，使用循环泵混合第一刻蚀液和辅助添加剂形成第二刻蚀液，使用第二刻蚀液对源漏极层进行湿刻，从而...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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