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本申请实施例公开了一种阵列基板及其制作方法，通过将低温多晶硅薄膜晶体管和氧化物薄膜晶体管的源漏电极以及栅极设置于基板的同一层上，进而省去了层间介质层的设置，可以简化成膜工艺，节约生产成本。...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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