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形成集成式组合件的方法技术
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文档序号:23769703
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一些实施例包含一种形成集成式组合件的方法。提供具有导电线且具有轨道的结构,所述轨道位于所述导电线上方且沿与所述导电线交叉的方向延伸。所述轨道中的每一者包含半导体材料的柱。所述轨道具有沿着所述轨道之间的空间的侧壁表面。所述柱具有上部分段、中间...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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