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在栅极与源极/漏极接触之间具有绝缘层的FINFET制造技术
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下载在栅极与源极/漏极接触之间具有绝缘层的FINFET的技术资料
文档序号:23769701
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本发明涉及在栅极与源极/漏极接触之间具有绝缘层的FINFET,其中,制程形成集成电路装置,该集成电路装置包括平行的鳍片,其中,沿第一方向图案化该鳍片。平行栅极结构沿垂直于该第一方向的第二方向与该鳍片相交,其中,该栅极结构具有与该鳍片相邻的下...
该专利属于格芯公司所有,仅供学习研究参考,未经过格芯公司授权不得商用。
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