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本发明公开了一种避免晶圆晃动与偏移的晶圆安装座及晶圆升降装置，所述晶圆安装座包括基座和夹持板，所述夹持板扣合在基座的两侧并通过紧固件与基座锁紧固定，所述夹持板的上端部设置有齿沟结构，齿沟结构上的每个齿均具有齿背、齿前、以及齿背与齿前相交处形...
该专利属于上海至纯洁净系统科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海至纯洁净系统科技股份有限公司授权不得商用。

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