下载一种晶圆甩干设备的技术资料

文档序号:23769637

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本发明公开了一种晶圆甩干设备,其结构包括机身、排水口、铰链杆、上盖、示窗口、控制按钮,机身的左侧面底部连接有排水口,上盖通过两侧上的铰链杆与机身顶部两侧铰链连接,上盖的中间上安装有示窗口;机身内部中间安装有内筒;有益效果:本发明在旋转柱上设...
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