下载湿刻装置及基板湿刻方法的技术资料

文档序号:23769628

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本发明提供一种湿刻装置及面板湿刻方法,该湿刻装置包括刻蚀腔、刻蚀液、以及腔内传送构件,在刻蚀过程中,腔内传送构件所在的平面,与水平面所成的夹角为锐角;通过将腔内传送构件设置成一定的角度,使得基板在刻蚀的过程中呈倾斜状态传送,借助于刻蚀液对基...
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