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一种衬底处理设备，其配备有用以在其上支撑衬底载体的衬底载体支撑件。所述载体支撑件包含用以支撑所述衬底载体的顶部支撑表面；隔热材料的隔热主体；以及用以加热所述载体支撑件的主加热器。所述隔热主体至少设置在所述支撑表面与所述主加热器之间。...
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