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本发明公开了一种无需人工操作、实现方便、性能可靠、高效精确的一种准分子激光退火制程OED的自动校正方法，包括：采用Mura的量化方法获取实时Mura值，并将所述Mura值上报给控制系统；将所述Mura值与预设的Mura值范围进行对比，若超出...
该专利属于信利(仁寿)高端显示科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过信利(仁寿)高端显示科技有限公司授权不得商用。

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