下载铁电电容阵列、铁电存储单元和铁电存储器的技术资料

文档序号:23764566

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本实用新型公开一种铁电电容阵列、铁电存储单元和铁电存储器。其中,在铁电电容阵列的方案中,所述铁电电容阵列包括:第一极板,所述第一极板包括用于金属互连的若干第一电极,以及覆于所述若干第一电极上的第一金属内衬层;铁电介质层,所述铁电介质层覆于所...
该专利属于四川省豆萁科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川省豆萁科技股份有限公司授权不得商用。

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