下载一种晶片快速冲洗装置的技术资料

文档序号:23764441

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本实用新型公开了一种晶片快速冲洗装置,包括箱体,所述箱体内设置有用于放置晶片固定夹具的提篮,所述箱体的左右两侧壁上各设置有喷水管,喷水管上并排设置有一组向晶片表面喷水的高压喷嘴;所述箱体上还设置有可移动的上盖。本实用新型能够实现晶片批量快速...
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