下载基板处理设备和应用于基板处理设备的安全阀的技术资料

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一种安全阀,包括:主体,该主体在其中形成有流动通路,该流动通路包括入口和出口,其中,围绕入口或出口形成有阀座;阀盘,其设置在主体中,其中阀盘的一侧接触阀座;弹性构件,其与阀盘的相反侧连接并弹性支撑阀盘并且具有设定弹性;和由聚酰亚胺制成的密封...
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