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本实用新型涉及高通量组合材料制备系统领域，公开了一种高通量分立掩膜装置。该高通量分立掩膜装置包括：基片托架，用于放置基片，所述基片托架通过基片托架升降电机和基片托架旋转电机控制升降和旋转；掩膜机械臂，所述掩膜机械臂通过掩膜机械臂旋转电机控制...
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