温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构，括安装座和安装板，所述安装座一侧安装有安装板，所述安装板一侧活动安装有一号转盘，所述一号转盘一侧固定安装有一号活动轴，所述一号活动轴内腔一端活动安装有一号连接臂，所述一号连接臂内腔一端安装有...
该专利属于无锡职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过无锡职业技术学院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。