【技术实现步骤摘要】
一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构
本技术涉及一种机器人手臂结构，特别涉及一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构。
技术介绍
机械臂是高精度，高速机器手。对应小批量生产方式，提高生产效率。除点胶作业之外，可对应uv照射，零件放置，螺丝锁定，电路板切割等各种工作。但是在现有的晶圆生产过程当中需要对晶圆片通过机器人进行测量，测量需要对晶圆片进行夹取但是传统的通过夹爪夹取的方式进行夹取，由于晶圆比较薄比较脆，所以夹取型的机械手容易导致晶圆片损坏，这样提高损坏率提高了成本，而且传统的只能一次性夹取一个，这样长期进行来回夹取运送降低了工作效率。为此，我们提出一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构，通过真空吸盘的的设置采用真空吸附晶圆片，这样使其避免传统机械手夹取会对晶圆片造成损伤，降低损失和成本，比较适合晶圆片较薄脆的物件进行夹取，二号转盘和多组吸取头的设置使其可以在一号电机的带动作用下进行转动使其调换不同的吸取头的位置，以便放置在测量装置上，这样一次...
【技术保护点】
1.一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构，包括安装座(1)和安装板(2)，所述安装座(1)一侧安装有安装板(2)，其特征在于：所述安装板(2)一侧活动安装有一号转盘(3)，所述一号转盘(3)一侧固定安装有一号活动轴(4)，所述一号活动轴(4)内腔一端活动安装有一号连接臂(10)，所述一号连接臂(10)内腔一端安装有液压缸(6)，所述液压缸(6)一端安装有伸缩杆(7)，所述伸缩杆(7)一端固定连接有二号活动轴(5)，所述二号活动轴(5)一端安装有二号连接臂(11)，所述二号连接臂(11)底端安装有二号转盘(16)，所述二号转盘(16)底部表面安装有吸取头(12)，且吸取头(12)...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构，包括安装座(1)和安装板(2)，所述安装座(1)一侧安装有安装板(2)，其特征在于：所述安装板(2)一侧活动安装有一号转盘(3)，所述一号转盘(3)一侧固定安装有一号活动轴(4)，所述一号活动轴(4)内腔一端活动安装有一号连接臂(10)，所述一号连接臂(10)内腔一端安装有液压缸(6)，所述液压缸(6)一端安装有伸缩杆(7)，所述伸缩杆(7)一端固定连接有二号活动轴(5)，所述二号活动轴(5)一端安装有二号连接臂(11)，所述二号连接臂(11)底端安装有二号转盘(16)，所述二号转盘(16)底部表面安装有吸取头(12)，且吸取头(12)设有多组，所述吸取头(12)底部表面安装有真空吸盘(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：梅华斌，刘文庆，邵晖，
申请(专利权)人：无锡职业技术学院，
类型：新型
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。